「優(yōu)傲機器人」UR機器人在晶圓搬運中的應(yīng)用
行業(yè)背景
目前協(xié)作機器人的主要應(yīng)用行業(yè)是消費類電子和汽車零部件。而主要的應(yīng)用在搬運和組裝。隨著5G技術(shù)在未來5年內(nèi)的普及和應(yīng)用,3C仍然會是協(xié)作機器人的重要增長點。半導(dǎo)體行業(yè),將成為協(xié)作機器人以及傳統(tǒng)工業(yè)機器人的下一個增長點。半導(dǎo)體行業(yè)體量大,投資大,扶持政策力度大。而且半導(dǎo)體行業(yè)的很多工藝環(huán)節(jié),適合協(xié)作機器人的應(yīng)用。
半導(dǎo)體行業(yè)在部分的生產(chǎn)工藝上,由于工藝流程間隔大,操作員有時需要具有較好移動性的機器人輔助進行作業(yè)。此時導(dǎo)入?yún)f(xié)作機器人就能很好地對應(yīng)這一需求。
2017年,UR、TM、大族等協(xié)作機器人品牌已經(jīng)進軍半導(dǎo)體行業(yè),其中UR在半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)取得了不錯的成績。目前正在準備申請SEMI-S2認證。此外,在半導(dǎo)體行業(yè)中,除了協(xié)作機器人標準的應(yīng)用以外,協(xié)作機器人已經(jīng)開始逐漸應(yīng)用在潔凈室中。
應(yīng)用案例圖
以下為UR機器人在晶圓搬運中的應(yīng)用,通過UR+AGV實現(xiàn)晶圓CASSTTE的無人搬運,靈活方便。
方案組成:UR10+AGV
方案優(yōu)勢:
(1) UR機器人每個關(guān)節(jié)都可以±360度旋轉(zhuǎn),超高的靈活度便于安裝在任意角度的支架或平臺上,滿足不同方向抓取的需求。由于獨特的模塊化關(guān)節(jié)設(shè)計,UR機器人的工作空間是以基座為中心的球體,可以對應(yīng)部署在任意方向的工位,大大增加了工作范圍。
(2) UR機器人結(jié)合移動小車搭載自動構(gòu)建地圖導(dǎo)航特性,可實現(xiàn)大范圍空間內(nèi)的物料抓取和移動小車的物流傳遞。
(3) UR機器人的低功耗也延長了移動AGV的工作時間。UR5的典型功率只有150w,搭載常規(guī)移動小車一般一次充電可運行超過10小時。
(4) UR機器人通過TUV專門安全認證,結(jié)合移動小車距離/視覺檢測,使運行期間安全得以保障。